氮化铝陶瓷基板超声波清洗机
氮化铝陶瓷基板应用到的行业有：
通信器件、LED封装、电力电子器件、半导体制冷器件、大功率集成电路、新能源汽车等。
工艺的不同：
氮化铝陶瓷基板相对于氧化铝陶基板而言，机械强度和硬度增加，相应的导热率比氧化陶瓷基板更高。氮化陶瓷基板生产制作难度增加，加工工艺也有所不同。
污染源：
氮化铝陶瓷基板因激光而产生的黑边,用超纯水（超声波清洗机）清洗不损伤氮化铝陶瓷基板表面，还能有效清洗掉因激光产生的黑边。
超声波清洗机的清洗优势：
威固特VGT-1107FS超声波清洗机能做到清洗产品表面污垢、并干燥。并且，设备能力可以达到节拍 3～8 分钟(可调)清洗一篮。
威固特VGT-1107FS超声波清洗机配置：
设备在清洗部分与慢拉及热风烘干部份分别独立电器控制。采用水溶剂洗涤、纯水漂洗、慢拉脱水热风烘干等工艺，为环保型清洗机。
设备内槽尺寸：L280×W390×H300（mm）。
材质：进口SUS316板。
槽体结构：
1、每槽设四面溢流口，溢水槽宽35mm，各槽均为独立循环槽，由循环泵将洗剂由储液箱抽出经过滤后再运回清洗槽，即子母槽循环。
2、设置独立循环过滤系统。
3、各槽底部设排液阀且互相串联至总排管。
4、槽内设温度感应器，温控范围：RT-100℃。
5、槽外设置抛动。
慢拉槽体结构：
1、槽面设齿状溢流结构，纯水由纯水预热箱进入。槽外贴保温棉厚10mm。
2、槽体设“OMRON”数显温控系统，检测槽内工作温度，温控范围，常温～120℃.
3、槽体上部设抽风小孔，将溢出水蒸汽抽走，防止水汽再次附着于提出的产品上。
热风烘干槽配置：
1、材质：采用进口SUS304，厚2mm不锈钢板，外包不锈钢沙胶板，中间填岩棉。
2、结构：每个烘干槽配置一套气缸，气缸带动产品一起运动，形成密封盖。
3、加热系统：外置式不锈钢加热。内置不锈钢加热管，功率：12KW；配OMRON数显式温控系统，监控箱内热风温度。温控范围：常温～120℃.
4、FFU压风系统机构：在烘干槽正上方的机架顶部设置一个FFU层流送风单元。由上往下吹风形成负压风，致使工件加热后附着物不易粘附。
5、FFU压风系统功能：因慢拉槽液温较高，如无顶部的FFU压风。大量的水汽将往上腾，水汽会再次附着于提出的产品上，安装FFU后，可在上方形成局部正压，大部分水汽从缸面的抽气口抽走。
设备保修期：
本设备在运行中，如由于设备本身质量问题，实行一年免费保修，如由于用户在使用过程中操作不到而造成的损失，我方负责保修，但收取相应的材料成本费，设备实行终生有偿保修。
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